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鉬加熱爐與藍寶石長晶

 

本產品採用立式爐體，可在真空或保護氣氛條件下進行高溫晶體的下降式生長，適用於2英寸藍寶石單晶生長，可用於LED襯底。

 

鉬加熱護

二、技術參數
1.電源功率：40KW
2.電源電壓：380V  50HZ
3.最高溫度：2200℃
4.極限真空度：6*10-3Pa
5.坩堝尺寸：Ф80×120mm
6.測溫系統：熱電偶+雙色紅外儀
7.壓升率：2Pa/小时
8.坩堝位移速度：慢速0.2-5mm/小時，快速120mm/分鐘
9、坩堝最大位移：200mm
10、爐內充氣壓力：≤0.06Mpa
11、氣氛控制：實現在設定爐壓範圍內自動控

 

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