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垂直水平溫度梯度冷卻法

 

南韓LED藍寶石晶棒主要廠商Sapphire Technology Co., Ltd. (STC)現採用其自主技術- 垂直水平溫度梯度冷卻(Vertical Horizontal Gradient Freezing;VHGF)法,量產LED藍寶石晶棒,此技術係以垂直溫度梯度冷卻(Vertical Gradient Freezing;VGF)法為基礎,而採用VGF 法生長砷化鎵晶棒,可達成低電位密度的高品質晶棒。除以VGF法為基礎外,STC所採 VHGF法又結合水平方向溫度梯度冷卻製程,如此一來,可使長晶大小(直徑與高度)與長晶形狀相對較不受限。總而言之,溫度梯度法(TGT)、坩堝下降法(VGF)以及垂直水平溫度梯度冷卻法(VHGF)都是採取不同方法改變熱區的溫度梯度來生長藍寶石晶體,但是,VHGF法為韓國STC公司的專利,具體採用什麼方法改變晶體生長的溫度梯度卻不得而知。另外還有福建鑫晶精密剛玉科技有限公司自主研發的“頂部籽晶垂直溫度梯度法”技術(溫度梯度法籽晶是在坩堝下部的),也屬這一類方法。

 

 

 

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