自1885年由Fremy、Feil和Wyse利用氫氧火焰熔化天然紅寶石粉末與重鉻酸鉀而製成了當時轟動一時的“日內瓦紅寶石”,迄今人工生長藍寶石的研究已有100多年的歷史。在此期間,為了適應科學技術的發展和工業生產對於藍寶石晶體質量、尺寸、形狀的特殊要求,為了提高藍寶石晶體的成品率、利用率以及降低成本,對藍寶石的生長方法及其相關理論進行了大量的研究,成果顯著。至今已具有較高的技術水平和較大的生產能力,為之配套服務的晶體生長設備——單晶爐也隨之得到了飛速的發展。隨著藍寶石晶體應用市場的急劇膨脹,其設備和技術也在上世紀末取得了迅速的發展。晶體尺寸從2吋擴大到目前的12吋。
低成本、高質量地生長大尺寸藍寶石單晶已成為當前面臨的迫切任務。總體說來,藍寶石晶體生長方式可劃分為溶液生長、熔體生長、氣相生長三種,其中熔體生長方式因具有生長速率快,純度高和晶體完整性好等特點,而成為是製備大尺寸和特定形狀晶體的最常用的晶體生長方式。目前可用來以熔體生長方式人工生長藍寶石晶體的方法主要有焰熔法、提拉法、區熔法、導模法、坩堝移動法、熱交換法、溫度梯度法、泡生法等。而泡生法工藝生長的藍寶石晶體約為目前市場份額的70%。 LED藍寶石襯底晶體技術正屬於一個處於正在發展的極端,由於晶體生長技術的保密性,其多數晶體生長設備都是根據客戶要求按照工藝特點定做,或者採用其他晶體生長設備改造而成。下面介紹幾種國際上目前主流的藍寶石晶體生長方法。
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