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Saphir Wachstum Method-Kanten defined Film-fed Wachstum (EFG)

Saphir Wachstum Method-Kanten defined Film-fed Wachstum (EFG)

Das obige Bild ist, das Wachstum Prinzip der kanten defined Film-fed-Züchtungsverfahren zu zeigen. Zuerst legte Rohstoff in die Flüssigkeit, die durch Wolframtiegel. Erwärmung durch die Heizschlangen, und Schmelzen des Rohmaterials und dann die Form mit dem Material auf der Oberfläche der Form durch aufgebrachte Kapillarwirkung zu glätten, so daß ein dünner Film gebildet wird. Folgen, wird der Saphir-Kristallkeim in die Flüssigkeit gebracht, und mit dem Dünnfilm verbunden ist. Und der dünne Film wird die gleiche Struktur wie Saphir-Kristallkeim kristallisiert. Der Samen wird nach oben ziehen zu verlangsamen, und wächst langsamer.

Die Flüssigkeit wird dünner Film genügend Rohmaterial zur Verfügung stellen und weil der Film durch die Form beschränkt ist, sondern füttern den Rohstoff für die Dünnschicht wächst, daher ist das Verfahren kanten defined Film-fed Wachstum genannt.

Detaillierte Beschreibung der Methoden Kristallwachstum ein ermöglicht komplizierte Form Kristalle zu erhalten, aus der Schmelze gegeben. Die variable Gestaltung Technik ermöglicht das Wachstum von Kristallen mit einem diskreten verändernden Querschnitt -Konfiguration während der Kristallisation. So ist die EFG-Methode.

Die Auswirkungen der Wärmeübertragung Umwelt in Kanten defined Film-fed Growth auf Schmelze / Festkörper -Grenz Form und seitliche Dotierstoffsegregation werden durch Finite-Elemente-Analyse von zweidimensionalen Modellen für Wärme- und Stoffübertragung untersucht . Die Wärmeübertragung Konfigurationen werden untersucht , die den einheitlichen Umgebung in früheren Modellen angenommen entsprechen und auf Low- und High-Speed-Wachstum Systeme. Die maximale Wachstumsrate für eine Silizium-Platte wird berechnet und der Gültigkeitsbereich von eindimensionalen Wärmeübertragungsmodelle etabliert. Die laterale Trennung, die von Krümmung der Erstarrungsgrenzfläche resultiert, wird für zwei gelöste Stoffe, Bor und Aluminium errechnet. Auf diese Weise wird die Wärmeübertragung direkt auf die Gleichförmigkeit des Produkts Kristall verbunden.

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