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钼加热炉与蓝宝石长晶

 

本产品采用立式炉体,可在真空或保护气氛条件下进行高温晶体的下降式生长,适用于2英寸蓝宝石单晶生长,可用于LED衬底。

 

二、技术参数
1.电源功率:40KW
2.电源电压:380V  50HZ
3.最高温度:2200℃
4.极限真空度:6*10-3Pa
5.坩埚尺寸:Ф80×120mm
6.测温系统:热电偶+双色红外仪
7.压升率:2Pa/小时
8.坩埚位移速度:慢速0.2-5mm/小时,快速120mm/分钟
9、坩埚最大位移:200mm
10、炉内充气压力:≤0.06Mpa
11、气氛控制:实现在设定炉压范围内自动控

 

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