目前蓝宝石单晶炉所使用的坩埚有铱坩埚,钨坩埚,钼坩埚。从实际应用的角度来说,铱坩埚对蓝宝石的污染最小,但价格太昂贵,成本较高;而钨坩埚和 钼坩埚相对便宜很多,但是污染相对较大。
采用铱坩埚的一般铱坩埚本身就是发 热体,但是采用钨、钼坩埚的较少采用坩埚本身来做发热体.
Ikal-200型晶体生长炉,采用钼坩埚、钼隔热屏、钨加热体,在高温下将挥发出 钼和钨原子。当然采用钨、钼坩埚本身做发热体的也不是没有,都是相对而言,工艺的选择和温场的设置都是非常关键的因素。不同的晶体生长方法,使用的坩埚也会不同,如 泡生法(KY)一般使用钨坩埚,热交换法 (HEM)一般使用钼坩埚,因为热交换法最后要砸锅取单晶,而钼坩埚价格最便宜。根据坩埚制造工艺,又可分为压制烧结坩埚和旋压坩埚,压制烧结坩埚质量较低,纯度、密度较低,使用寿命相对较短,价格相对便宜;旋压坩埚质量较高,纯度、密度较高,使用寿命较长,价格高。
国内长晶炉一般是采用压制烧结坩埚。
蓝宝石晶体生长炉用钼坩埚尺寸为:
材质 |
密度 |
尺寸 |
钨 99.95% |
≥18.3g/cc (烧结) |
直径:70-550mm;高度:50-700mm |
钼 99.95% |
≥9.8g/cc (烧结) |
直径:70-550mm; 高度:50-700mm |
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