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LED 사파이어 처리 LED 기판 사파이어 인공 사파이어 (Al2O3를 단결정)을 설명하는 것입니다. 인공 사파이어 (Al2O3를 단결정), 특히 LED 사파이어 기판에 대해, 산업 창 재료 및 반도체 기판 (예를 들면 귀금속, 유리 등) 장식을 위해 사용될 수있다. 그러나 LED 기판, 사파이어 등 특수한 결정 방향, 저 전위 밀도로해야하고, 그것이 인공 사파이어의 고가의 제품에 속하는 것이다.
LED 웨이퍼 제조는 두 단계로 나누어 질 수있다.
우선, 질화 갈륨 (GaN) 에피 택셜 기판에 제작 라이너 저,이 공정은 주로 에피 노의 금속 유기 화학 기상 증착에 완료된다. GaN 계 에피 택셜 웨이퍼의 재료 소스 및 양호한 제조를 준비한 후 서서히 택셜 웨이퍼가 수행 될 수있는 프로세스의 요구에 따라, 고순도 가스를 필요하다. 일반적으로 사용되는 주로 사파이어 기판이고, 실리콘 카바이드 및 실리콘 기판 및 갈륨 비소,의 AlN, ZnO의 다른 재료. MOCVD는 가스상 반응물 (전구체) 및 유기 금속 V 기판 표면은 기판 표면 상에 증착 필요한 제품의 NH3 반응 III의 사용이다. 코팅 조성물, 품질의 결정상을 제어하기 위해서, 반응물의 온도, 압력, 농도 및 비율의 형태를 제어함으로써. MOCVD 에피 택셜로 가장 일반적으로 사용되는 기기의 LED 에피 택셜 필름의 생산이다.
다음에 두 개의 LED PN 접합 처리의 전극, 전극의 주요 처리 공정뿐만 아니라, 세정, 증착, 황색 광, 화학적 에칭, 융합 연삭 포함한 LED 칩의 생산이고; 다음 테스트 및 LED 깃털의 등급, 다이 싱, 당신은 필요한 LED 칩을 얻을 수 있습니다. 웨이퍼 세정 충분히 깨끗하지 않은 경우, 증착 시스템이 정상이되면, 금속층 이상, 사라지며 (에칭 후 전극) 금속층 외관 색 골드 거품을 증발로 이어질 수있다. 증발 과정은 때때로 클립 마크 (육안 검사에서 제외 수행해야 함) 생성합니다, 스프링 클립 고정 칩을 필요로한다. 개발자가 완전하게 수행하고 마스크 구멍이 발광 영역 이상의 금속 잔류 물을 경우 노란 빛이 작업은, 베이킹, 포토 레지스트, 사진 노광 및 현상을 포함한다. 그 과정에서 웨이퍼 등의 세정, 증착, 황색, 화학적 에칭, 융합, 연마 및 기타 작업 핀셋을 사용해야 꽃, 캐리어의 바구니, 그래서 곡물 전극 스크래치가있을 것 같은 다양한 프로세스가 발생합니다.
다른 질문은 사파이어 성장로에 대한 텅스텐 도가니 참조가있는 경우, 다음과 같은 방법을 통해 문의 해 주시기 바랍니다 :
이메일：sales@chinatungsten.com
이러한.：+86 592 512 9696
팩스：+86 592 512 9797 |
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