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사파이어 (SAPMAC를) 방법 - 마이크로 이겠지 성장 및 냉각 센터에서 확장 어깨

마이크로 당기는 냉각 중앙 확장 어깨 또한 마이크로 당겨 회전 키로 플러스라고 사파이어 성장 법이다. 는 키로 플러스 방식과 기술의 하얼빈 연구소의 복합 구조의 연구소 방법 이겠지 기반의 개선 된 방법이다. 큰 크기의 결정을 성장하는 데 사용됩니다. 결정 성장 시스템은 제어 시스템, 진공 시스템, 발열체, 냉각 시스템 및 열 보호 시스템을 포함한다. 시스템 추적 쵸크 랄 스키 법을 넣어 개략적 어깨 차가운 심장 위치 다음 그림은 SAPMAC는 전망은 보통 배 모양, 결정 지름 도가니 (10)의 작은 크기의 내경 이상으로 증가 할 수있다 단결정 성장 ~ 30mm. 종자는 열교환 기의 바닥에 시드 클립을 사용하여 분할 형상으로 가공된다. 회전 열교환 당기는은 결정 고정 시드 및 열교환 결정 간의 교환 상호 작용을 달성 용융 될 수있다.

사파이어 결정의 추적 초크 랄 스키 성장은 일반적으로, 전체의 결정 성장 프로세스가 4 개의 제어 단계, 즉 시드 어깨를 넣고, 다른 트랙 어닐링 및 냉각 단계로 나누어 질 수있는 경우 초기 심장 어깨 넣어. 스테이지 시드 어깨 넣어하는 결정을 달성 어깨 네킹 제어 두는 방법 (도가니 외벽 온도를 제공 할 수있는 가열 시스템)을, 가열 온도가 소정의 감소로 적절한 열교환 기의 냉각 능력을 조정하는 용도이다. 이때 큰 방전 어깨의 사용에 도움이 큰 돌출 결정 성장 속도와 온도 구배 인터페이스 거리를 감소시키는 것은 시드 결정 결함 내의 전위 가능한 반면 같은 일본어와 같은 인터페이스를 내리고 방지 어깨 넣어 크리스탈에서 빠르고 효과적으로 결정 콘텐츠 내의 결함을 감소시켜 결정 표면에 퍼졌다. 큰 온도 구배는, 인터페이스 결정 성장 구동력을 증가 인터페이스의 안정성을 증가시킬 수있다. 결정이 원하는 직경 크기로 성장할 때까지 결정이 평등가 다른 트랙 단계로 성장 시작 (차가운 어깨 심장 추적 초크 랄 스키 크리스탈 직경이 도가니 1 ~ 3cm의 내벽에서 성장할 수 넣어). 성장 된 결정 크기, 결정 성장의 열교환 효율이 급격히 감소하므로 결정 주로 결정 성장을 달성하기 위해, 가열 온도 (제공 할 수있는 가열 시스템 도가니 외벽 온도)를 감소시킴으로써, 직경 성장기 후에 들어간다.

SAPMAC

SAPMAC 방법에 대한 주요 특징:
1) 있도록 추운 심장 어깨 통해 넣어 잘 좋은 재료 품질의 유전 특성의 전체 최종 생성물의 결정의 결정 성장 방법의 큰 크기.
2) 마이크로 - 당기는 고정밀 에너지 제어를 통해,되도록 결정 성장의 전 과정에 유의 열 잡음은 크게 다른 방법보다 결함 개시의 확률이 감소하지 않는다.
3) 단지 이후의 온도 필드의 교란을 감소 당기는 추적. 단결정 성장의 성공률을 높일 수 있도록,보다 균일 한 온도 장을.
4) 결정 성장 과정에서, 결정은 핫 존 여전히, 도가니를 제작하지 않는다. 정밀하게 열 응력을 감소시키기 위하여 냉각 속도를 제어 할 수있다.
5) 대형 결정의 성장에 적합한 물질은 1.2 배 이상 종합 이용 키로 플러스 법이다.
6) 열 교환기 내의 작동 유체로서 물을 사용하여 결정 시츄 어닐링, 다른 방법에 비해 짧은 테스트 사이클, 및 저비용을 실현할 수있다.
7) 결정 성장 공정에서는 용이하게 결정 성장을 관찰 할 수있다.
8) 자유 표면의 결정 성장 도가니 스트레스 결정을 줄일 수 필수 아니다.
9) 쉽게 원하는 방향 씨와 "네킹"프로세스를 사용할 수 있습니다, 그것은 상대적으로 빠른 속도로 할 수 있습니다.

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