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肩マイクロチョクラルスキー法

 

肩マイクロチョクラルスキー法
(SAPMAC) 肩マイクロチョクラルスキー法(Sapphire growth technique with micro-pulling and
shoulder expanding at cooled center, SAPMAC),主にウクライナデイトンでは、大型サファイア結晶の成長のために進化して改良された発泡体の製造方法及びチョクラルスキー法に基づいて、ハルビン工業大学の回転Kyropoulosフランス、複合材料と構造、研究所マイクロ引くとしても知られていますEKCは、改善と開発に基づいてIkal-220結晶成長炉を作り出した。制御システム、真空システム、ヒーター、冷却システムや熱保護システムを含む結晶成長システム。次の図は、チョクラルスキー法の肩トレースシステム図を置くために冷たい心臓部であり、SAPMAC外観で成長した単結晶は、通常、洋ナシの形であり、結晶の直径は10〜30ミリメートルサイズのるつぼ内径に成長することができます。種子は熱交換器の下部にクリップ分割形の種子に処理されます。熱交換器は、固定種結晶の回転と引っ張って、同様に熱交換器、結晶と融液との間で熱交換の役割を行うことができます。ヒーター、冷却システムおよび結晶成長のために、均一な安定した制御温度場を提供するために、熱保護システムの相乗効果。することができます肩径と冷却ステージのアニーリング特性を入れて結晶成長のシード、熱交換器、流量の作動流体の温度を調節することにより、環境のるつぼ外壁を提供することができ、加熱温度(発熱体温度)水晶/温度勾配、熱伝達、結晶成長の完了を溶かすの正確な制御。サファイア結晶の肩マイクロチョクラルスキー成長を置くために冷たい心は、通常、全体の結晶成長プロセスは、4つの制御段階では、シードに分割され、アニーリングとステージを冷却する、肩の直径を入れた。播種と肩の位相を入れ、主にネッキング達成し、結晶を制御するために肩を入れて低い加熱温度(加熱システムは、るつぼの外壁温度を提供することができます)で適切な場合には、熱交換器の冷却能力を調整するために使用します。種子内の転位の元の欠陥を迅速にすることができながら、結晶成長界面突出速度と温度勾配は、インターフェイスフリップを防ぐために肩を入れて距離を減らすために、そのリリースの肩の角度が大きい結晶からの結晶表面への拡散は、効果的に結晶内の欠陥の内容を減らすことができます。インタフェースの温度勾配は、界面の安定性を高めるために、結晶成長の駆動力を向上させることができます。結晶粒径が所望の大きさ(マイクロチョクラルスキー結晶の直径はるつぼ内壁1〜3cmの後、るつぼからの離れて育つことができ、肩を置くために冷たい心)に成長され、結晶は、直径のステージに、直径成長を始めた。結晶サイズの成長とともに、熱交換器の熱が急速に減少し、結晶成長の効率は、結晶は主に加熱温度を低減することにより、直径成長段階に入るので、
結晶成長を達成するために(加熱システムは、るつぼの外壁温度を提供することができます。)

このメソッドの主な特徴:


1)大きなサイズの結晶成長、質の良い材料の遺伝的特性全体結び目品の結晶化プロセスのことを確認するために冷たい心を介して肩を入れた。

2)マイクロ引くと高精度のエネルギー制御では、全体の結晶成長プロセスには有意な熱擾乱をせず、欠陥開始の確率は、他の方法よりも大幅に低くなる。

3)のような唯一のマイクロ引いて、温度場の乱れを減らすことができます。より均一な温度場、従って健康の単結晶を確保する
成功率。

4)全体の結晶成長プロセスにおいて、結晶はるつぼがホットゾーンのままで要求されません。を正確に制御することができます
その冷却速度のシステムと、熱ストレスを減らすことができます。

5)大型結晶の成長に適した、材料の使用率が以上の1.2倍Kyropoulosです。

作動流体を熱交換器として水を使用し

6)、結晶は他の方法よりもその場アニーリング、短いテストサイクル、低コストで達成することができます。


7)結晶成長の過程で、あなたは容易に結晶成長を観察することができます。

るつぼの必須の役割を受けない自由表面の成長の8)の結晶は、結晶のストレスを軽減することができます。

9)容易に速い速度に貢献し、種子の必要な方向と "ネッキング"プロセスを使用することができます

肩マイクロチョクラルスキー法を置くために冷たい心臓の系統図。

冷却水ロッド、2ヒーター】。シードステント;熱拡散の高レベル;るつぼ、結晶、S/ Lインタフェース、溶融、支持フレーム。熱

 

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